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德国布鲁克 DektakXT 台阶仪
德国布鲁克 DektakXT 台阶仪
产品概述:
布鲁克 DektakXT 台阶仪(探针式表面轮廓仪)是一项创新性的设计,可以提供更高的重复性和分辨率,测量重复性可以达到5?。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年Dektak技术创新的顶峰,更加巩固了其…
详细介绍
     布鲁克 DektakXT 台阶仪(探针式表面轮廓仪)是一项创新性的设计,可以提供更高的重复性和分辨率,测量重复性可以达到5?。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年Dektak技术创新的顶峰,更加巩固了其行业领先地位。不论应用于研发还是产品测量,通过在研究工作中的广泛使用,DektakXT一定能够做到功能更强大,操作更简易,检测过程和数据采集更完善。第十代DektakXT台阶仪(探针式表面轮廓仪)的技术突破,使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能,从而可以广泛的应用于微电子器件,半导体,电池,高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。
     DektakXT 完美设计
     探针系统的评价体系受三个因素影响:能否重复测量,数据采集和分析速度快慢,操作的难易程度。这些因素直接影响了数据的质量和操作效率。DektakXT利用全新结构和和最佳软件来实现可重复、时间短、易操作这三个必要因素,达到最佳的仪器使用效果。
     强化操作的可重复性 Delivering Repeatable Measurements
     DektakXT在设计上的几个提高,使其在测量台阶高度重复性方面具有优异的表现,台阶高度重复性可以到达5?.使用single-arch结构比原先的悬臂梁设计更坚硬持久不易弯曲损坏,而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响。同时,Bruker还对仪器的智能化电子器件进行完善,提高其稳定性,降低温度变化对它的影响,并采用先进的数据处理器。在控制器电路中使用这些灵敏的电子元器件,会把可能引起误差的噪音降到最低,DektakXT的系统因此可以更稳定可靠的实现对高度小于10nm的台阶的扫描。Single-arch结构和智能器件的联用,大大降低了扫描台的噪音,增强了稳定性,使其成为一个极具竞争力的台阶仪(表面轮廓仪)。
     提高数据采集和分析速度 SpeedingUp Collectionand Analysis
     利用独特的直接扫描平台,DektakXT通过减少从得到原始数据到扣除背底噪音所需要的时间,来提高扫描效率。这一改进,大大提高了大范围扫描3D形貌或者对于表面应力长程扫描的扫描速度。在保证质量和重复性的前提下,可以将数据采集处理的速度提高40%。另外,DektakXT采用Bruker 64-Bit数据采集分析同步操作系统Vision64,它可以提高大范围3D形貌图的高数据量处理速度,并且可以加快滤波器的工作速度和多模式扫描时的数据分析处理效率。Vision64还具有最有效直观的用户界面,简化了实验操作设置,可以自动完成多扫描模式,使很多枯燥繁复的实验操作变得更快速简洁。
     完善的操作和分析系统 PerfectingOperationand Analysis
     与DektakXT的创新性设计相得益彰的配置是Bruker的Vision64操作分析软件。Vision64提供了操作上最实用简洁的用户界面,具备智能结构,可视化的使用流程,以及各种参数的自助设定以满足用户的各种使用要求,快速简便的实现各种类型数据的采集和分析。

     DektakXT 技术参数
     —台阶高度重复性5?
     —Single-arch设计大大提高了扫描稳定性
     —前置敏化器件,降低了噪音对测量的干扰
     —新的硬件配置使数据采集能力提高了40%
     —64-bit,这一Vision64同步数据处理软件,使数据分析速度提高了十倍。
     功能卓越,操作简易
     —直观的Vision64用户界面操作流程简便易行
     —针尖自动校准系统让用户更换针尖不再是难事
     台阶仪(表面轮廓仪)领域无可撼动的世界领先地位
     —布鲁克的台阶仪,体积轻巧,功能强大。
     —单传感器设计提供了单一平面上低作用力和宽扫描范围
     Dektak XT 台阶仪是Dektak150型升级版,Veeco公司2007年正式推出的新型探针式表面轮廓仪(台阶仪)产品,主要应用于薄膜厚度测量、样品表面形貌测量、薄膜应力测量、样品表面粗糙度/波纹度测量、以及样品表面三维形貌测量等众多领域。

     Dektak XT出众的测量精度、准确的测试功能、高的性价比
     接触式测量模式—业内品牌
     全球销量》10000台,中国销量》250台
     中国大学、研究所》100台
     中国太阳能客户销量》30台
     中国LED客户销量》30台

     技术参数:拱形设计—系统更稳定 
     扫描长度:55mm
     垂直测量范围:1mm(标准)
     台阶高度重现性5Å, 1 在1um台阶上
     垂直分辨率:大1Å(6.55um范围)
     探针压力:1-15mg
     探针曲率半径:0.2-25um
     超细探针50nm
     样品台尺寸:150mm-200mm 
     可360°旋转,手动、自动可选
     大样品厚度:50mm

     主要特点:
     1. 台阶高度测量的高重复性
     2. 基于精密加工光学参考平面的样品台, 确保在长距离扫描中基线的稳定性
     3. 出色的易用性、易维护性
     4. 好的样品适用性
     5. 高分辨率的粗糙度测量
     6. 功能强大的软件分析系统
     7. 三维表面形貌测量的功能可升级性
     8. 广泛的应用领域,客户涵盖大学、研究所、工业领域(太阳能、LED、触摸屏、半导体、镀膜等多领域) 

昆山恒士莱机械科技有限公司
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